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一种基于晶体炉的加热组件结构的制作方法
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公司名称:成都中建材光电材料有限公司

分类:化工技术

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任务详情

晶体炉是生产单晶硅、多晶硅、碳化硅的的制造设备。主要由炉体、加热器、计算机控制系统、设备框架、真空抽气系统等部分组成。将原料放入坩埚中,通过加热器对坩埚加热,原料直接气化升华后再籽晶上结晶。在碳化硅晶体炉中采用电阻加热线圈对坩埚加热,常见的碳化硅炉中的电阻加热器都是两个上下平行分布的呈蚊香状的螺旋盘管,坩埚置于两个螺旋盘管之间的位置,由于螺旋盘管每圈的直径存在差异,加热温度不均匀,影响产品质量;而且两个螺旋盘管加热器在安装的时候同轴度、位置精度都要求非常高,安装不方便。

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