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带密封表面的静电卡盘的制作方法
带密封表面的静电卡盘的制作方法
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公司名称: 淄博汇铁颜料公司

分类:化工技术

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联系人:文杰

联系方式:15680899802

任务详情

提供了用于基座的设备和系统。示例性的基座可以具有主体,所述主体具有上环形密封表面,所述密封表面是平坦的、垂直于所述主体的竖直中心轴并且具有径向厚度;下凹部表面,其从所述上环形密封表面偏移;以及从所述下凹部表面突出的多个微接触区域(MCA),每个MCA具有顶表面,该顶表面从所述下凹部表面偏移第二距离;和在所述主体内的一个或多个电极。所述上环形密封表面可以被配置成当半导体衬底被所述基座支撑时支撑所述半导体衬底的外边缘,并且所述上环形密封表面和所述MCA的所述顶部可以被配置为在所述基座支撑所述半导体衬底时支撑所述半导体衬底。带密封表面的静电卡盘的制作方法

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