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场效应型晶体管的制作方法
场效应型晶体管的制作方法
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公司名称: 淄博汇铁颜料公司

分类:化工技术

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任务详情

场效应型晶体管具有在电子供给层(103、403)之上形成的栅极电极(108、408)、源极电极(104)、漏极电极(105),并且具有:绝缘膜(106、407),其包覆所述电子供给层(103、403);以及所述绝缘膜的开口部(111、411),其设置于形成所述栅极电极(108、408)的区域而具有梯形四棱柱状轮廓面,使所述栅极电极(108、408)与通过所述开口部(111、411)将所述电子供给层(103、403)露出的区域进行肖特基接合,并且使由所述开口部(111、411)所形成的梯形四棱柱状轮廓面相对于所述电子供给层(103、403)的表具有25度至75度的范围的倾斜角。场效应型晶体管的制作方法

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